| ترم اول | |||
| نام درس | نام انگلیسی درس | واحد | نوع درس |
| فیزیک حالت جامد | Solid State Physics | 3 | جبرانی |
| ارتعاشات سیستمهای مکانیکی | Vibrations in Mechanical Systems | 3 | جبرانی |
| تئوری و تکنولوژی ساخت نیمههادیها | Theory and Technology of Semiconductors | 3 | اصلی |
| روشهای شناسایی نانومواد | Nanomaterials Characterization Methods | 3 | اختیاری |
| طراحی مکانیکی سیستمهای میکروالکترومکانیک | Mechanical Design of MEMS | 3 | اختیاری |
| ترم دوم | |||
| نانوتکنولوژی | Nanotechnology | 3 | اصلی |
| سنسور و میکروماشین | Sensor and Micromachine | 3 | اصلی |
| آزمایشگاه میکرو نانوالکترومکانیک | MEMS and NEMS Lab | 2 | اصلی |
| ادوات پیشرفته نانوالکترونیک | Advanced Nano-Electronic Devices | 3 | اختیاری |
| مباحث ویژه در سیستمهای میکرو و نانوالکترومکانیک | Special Topics in MEMS and NEMS | 3 | اختیاری |
| نانوفتونیک | Nanophotonic | 3 | اختیاری |
| ترم سوم | |||
| پایان نامه | Thesis | 8 | پایان نامه |
| پایان نامه | Thesis | . | پایان نامه |
| آمادگی طرح تحقیق | research proposal | . |
|